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巖田無油渦旋式真空泵，也被稱為干式真空泵，是一種無需任何油作潤滑就能運(yùn)轉(zhuǎn)工作的機(jī)械真空泵。這種泵具有結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。由于其耐用性好，它是抽真空和壓縮兩用真空泵，被廣泛應(yīng)用在獲得真空的基本設(shè)備中。 無油渦旋式真空泵，一種無需任何油作潤滑就能運(yùn)轉(zhuǎn)工作的機(jī)械真空泵，被廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。例如，在半導(dǎo)體行業(yè)，它被用于薄膜制備設(shè)備和半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備中。

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